零刚度减振器

零刚度减振器是通过特殊结构设计实现极低刚度的减振装置，能有效隔离低频振动，特别适合光刻机等精密设备。其核心优势在于：

技术突破

准零刚度设计‌：通过磁性负刚度和频变阻尼技术，将振动传递率从3%降至0.3%。

多场景适配‌：华中科技大学团队研发的超精密主动减振器，已应用于半导体制造、高精度机械加工等领域。

应用价值

国产替代‌：打破国外技术垄断，实现高端减振器自主可控。

性能对标‌：技术指标达到国际顶尖水平，满足DUV光刻机等高端需求。