抗微振基座是精密制造的“稳定器”,通过结构设计和材料选择隔离振动,确保设备定位精度和成像质量。其核心原理是通过特定结构和材料实现振动能量的有效隔离和耗散。技术原理与设计要点振动能量隔离:通过结构设计
抗微振基座是精密制造的“稳定器”,通过结构设计和材料选择隔离振动,确保设备定位精度和成像质量。其核心原理是通过特定结构和材料实现振动能量的有效隔离和耗散。
技术原理与设计要点
振动能量隔离:通过结构设计和材料选择,实现振动能量的有效隔离和耗散。
材料选择:采用高阻尼材料,提高基座的减震效果。
结构设计:支撑框架包括竖直设置的多个立柱,立柱顶部设置有横梁与纵梁,横梁与纵梁相互垂直设置;面板顶部设置有减震台,提高基座的减震效果。
应用场景
半导体制造:用于半导体生产设备与厂房楼板之间,控制微振动,确保芯片良品率。
光学仪器:用于光学仪器的防微振,确保成像质量。
精密加工:用于精密加工设备的防微振,确保加工精度。